机构简介

中国电子科技集团公司第四十八研究所（以下简称48所）成立于1964年，由原国防科委第14研究院北京新工艺研究室和公安部湖南实验工厂合并组建而成。占地面积266.83亩，拥有科技人员近1000人，其中有突出贡献享受国务院政府特殊津贴的专家29人、研究员级高级工程师33人、高级工程师191人。是国内主要以微电子制造装备、半导体照明关键装备、太阳能光伏装备及产品、磁性材料制造装备、新型储能材料制造装备、特种传感器等技术为主的骨干科研生产机构。产品销往覆盖含香港、台湾在内的全国29个省市以及亚、欧、美等十多个国家和地区。

48所是国内唯一以三束（电子束、离子束、分子束）技术为主的半导体微细加工设备研究、开发、生产的专业研究所，是国家级微电子、光电子专用设备研发及生产的专业机构，是国内主要的半导体设备供应商（包括离子注入机、扩散/氧化系统等）、最大的太阳能电池制造设备供应商、最大的电子工业窑炉供应商及我国军用薄膜压力传感器定点供货单位，是全国CAD应用工程示范单位和湖南省A级纳税信用单位。已通过ISO9001-2008及GJB9001B-2009质量管理体系认证和国家二级保密资格认证，是我国唯一通过ISO14000环境管理体系认证和OSHMS18001职业健康安全管理体系认证的电子专用装备研制生产单位。现拥有国防科技工业有源层优化生长技术创新中心、国家光伏装备工程技术研究中心、中国-埃及可再生能源国家联合实验室、薄膜传感技术湖南省国防科技重点实验室等科研平台，被国际SEMI评为快速成长企业、最受关注本土半导体设备与材料公司。

48所专业门类齐全，技术力量雄厚，专业领域主要有以下几类：一是微电子制造装备，主要包括离子注入机、金属有机化合物化学气相淀积设备（MOCVD）、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、离子束溅射镀膜机、磁控溅射镀膜机等；二是太阳能光伏制造设备，主要包括多晶铸锭炉、PECVD设备、高温扩散炉、高/低温烧结烘干炉、等离子体刻蚀机等设备；三是热工设备，主要包括辊道窑、全密封气氛保护推板窑、钟罩式氮气保护烧结炉等设备；四是传感器及微系统，主要包括航空、航天、兵器、船舶、核工业等军工领域配套传感器定型产品以及桥梁健康监测、城市地下管网监测、电网健康监测系统等微系统。

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