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订购记录
机构介绍
感应耦合等离子体（ICP）刻蚀机
制造厂商：
中国电子科技集团第四十八研究所
生产国别：
中国
分类编码：
120302
购置日期：
2016-12-01
规格型号：
M45150-2/UM
仪器加盟状态：
服务机构
湖南大学
暂无
33
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资质：
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获取联系方式请点击
073188664187
详细信息与指标
制造厂商：
中国电子科技集团第四十八研究所
生产国别：
中国
分类编码：
120302
购置日期：
2016-12-01
规格型号：
M45150-2/UM
仪器加盟状态：
功能/应用范围：
ICP是用于半导体流片工艺过程中SiC、Ni、Ti等材料的刻蚀，是用于形成功率半导体器件结构或图形的关键设备
主要附件：
应用于SiC、SiO2、多晶硅、硅、半导体材料、部分金属等材料的刻蚀工艺，在MEMS器件制造中用作Si的通孔刻蚀等。
主要技术指标参数：
(1) 适用样品尺寸：单片，最大6 (2) 装片量：1片/批 (3) 刻蚀介质：掺杂硅、氮化硅、PR (4) 等离子体源：电感耦合等离子体源（ICP源），功率2.5kW，频率13.56MHz，自动匹配偏压电源：功率500W，频率13.56MHz，自动匹配"
技术特色：
服务实例：
暂无
