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大型仪器
订购记录
机构介绍
四轴激光图形化直写设备
制造厂商：
中国 苏州苏大维格光电科技股份有限公司
生产国别：
中国
分类编码：
120199
购置日期：
2018-11-08
规格型号：
Microlab
仪器加盟状态：
服务机构
湖南大学
暂无
33
好评率
成交量
资质：
收藏店铺
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获取联系方式请点击
15211044249
详细信息与指标
制造厂商：
中国 苏州苏大维格光电科技股份有限公司
生产国别：
中国
分类编码：
120199
购置日期：
2018-11-08
规格型号：
Microlab
仪器加盟状态：
功能/应用范围：
可用于传统集成电路，MEMS，微流控，现代光学新型材料研究等
主要附件：
主要技术指标参数：
最小结构尺寸0.2um 具有三个不同分辨率的光学镜头，支持基底厚度1-15mm支持Z轴基底翘曲100um 支持扫描曝光，灰度曝光，拖曳曝光 书写速度不小于10mm2/min@0.5um;40mm2/min@0.5um;80mm2/min@0.5um; 套刻精度小于等于500nm 支持256阶3D灰度光刻
技术特色：
服务实例：
暂无
湘公网安备43010402000435号