| 主要技术指标参数： |
1.成像系统：
1.1放大倍率：10x～200000x
1.2加速电压： 1kV～30kV
1.3检测器窗口数目：2个
1.4探测器：SE检测器/ BSE检测器，二次电子探测器
1.6分辨率：5nm
1.7光阑：4孔可变光阑
1.8图像偏移：±50μm
1.9自动功能
2.样品室：
2.1工作距离：5～40mm
2.2载物台尺寸：电动（X，Y：40mm/Z：5～40mm），手动（T：-90～90°/R：360°）X，Y，Z（电动）
2.3最大样品尺寸：直径：80mm，高度：40mm
2.4自动功能：自动聚焦，自动亮度/衬度，自动对准电子枪
2.5导航光学相机：俯视
2.6舱内摄像头（具备舱内摄像头）
2.7显示模式：聚焦模式
2.7.1 聚焦模式：320 x 240像素
2.7.2 预览模式：800 x 600像素
2.7.3 慢速模式：适用于预览和聚焦模式
2.7.4 照片模式：3200 x 2400像素
3.真空系统
3.1真空系统：全自动气动阀控制，高真空模式（9x10-3 Pa）/减少电量模式
3.2真空泵：涡轮分子泵（90S内即可抽真空），旋转叶片泵，全自动电动阀控制
4.图像
4.1图像模式：可在低真空下（含30Pa～50Pa）观察二次电子形貌像；可在高、低真空下（含5Pa～50Pa）观察成分像、阴影像和凹凸像
4.2图像格式：JPG，Tiff，BMP
4.3数据储存：支持本地存储
4.4图像储存相素：940×705像素、1024×768像素、1664×1248像素、3200×2400像素等多种分辨率可调
4.5数据显示支持：微标尺、微米值、日期时间、工作距离、图像号码及注释等
4.6数据输出：配备免费的数据报告自动生成软件，可以自定义模板，生成word、excel、ppt等主流格式报告文件
5.配套软件系统
5.1图像测量软件：包括垂直, 水平, 对角，任意2点间距离，测量线段与水平线之间的角度
5.2绘图工具，长度，面积，角度测量，圆，线、多边形注释 |
