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机构介绍
等离子增强化学气相沉积试验系统
制造厂商：
北京创世威纳科技有限公司
生产国别：
中国
分类编码：
990000
购置日期：
2013-10-28
规格型号：
PECVD-600,*
收费标准：
500元/炉
服务机构
湖南科技大学
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资质：
暂无
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详细信息与指标
制造厂商：
北京创世威纳科技有限公司
生产国别：
中国
分类编码：
990000
购置日期：
2013-10-28
规格型号：
PECVD-600,*
收费标准：
500元/炉
功能/应用范围：
等离子体化学气相沉积硅基（Si）薄膜，碳基（C）薄膜。
主要附件：
主要技术指标参数：
★样片数量及尺寸：1片Ф6英寸 ★沉积材料：硅基（Si）薄膜，碳基（C）薄膜。 ★沉积腔体：高真空系统 ★沉积不均匀性：±3%-±6% ★沉积速率：20-600nm/min（视具体材料与工艺） ★工作台：可升降，高度可调 ★加热：常规加热 ★电源配置：射频；直流偏压 ★气路数量与种类：标配4路气路 ★操作模式：全自动控制
