| 主要技术指标参数： |
一、场发射扫描电子显微镜/SUS8600
1、电子光学
1.1 电子枪类型：高分辨场发射电子枪；
1.2 加速电压：200 V-30 kV；
1.3 电子着陆能量：20 eV-30 keV；
1.4 束流大小：1 pA-50 nA 连续可调；
1.5 透镜（物镜）几何结构：60°物镜几何结构：支持倾斜较大的样品（不规则样品）；
1.6 兼容磁性样品；
1.7 光阑：自加热物镜光阑；
1.8 自动烘烤、自动启动、无需机械合轴；
1.9 样品台减速：-4 kV 到+500 V。
2、分辨率
2.1 高真空分辨率（SE 二次电子）：≤0.6 nm@15 kV；
2.2 高真空分辨率（SE 二次电子）：≤0.7 nm@1 kV 。
3、探测系统
3.1 镜筒内高分辨 BSE 探头
3.2 镜筒内高分辨 SE 探头；
3.3 常规 SE 探头（ETD）；
3.4 红外 CCD（观察样品台高度）；
3.5 智能导航相机(导航视野直径73mm)。
4、真空系统 : 抽真空时间：≤ 3 分钟。
5、样品仓内径：330 mm，配置交换仓最大样品范围≥150 mm
6、样品台
6.1 五轴全对中马达样品台，行程：X：110 mm，Y：110 mm ，Z：45 mm；
6.2 倾斜：-15 ～+70°；
6.3 最大样品尺寸：可沿 X、 Y 轴完全旋转时直径≥150 mm，最大样品高度距共心点 ≥40 mm；
6.4 分析工作距离：≤10 mm；
7、软件
7.1 最大图像输出分辨率不拼接：≥51203840 像素；
7.2 光栅扫描：驻留时间 25 ns 到 25 ms/像素；
7.3 智能扫描和漂移补偿：智能扫描（256 帧平均或积分、线积分和平均法、隔行扫描），漂移补偿帧积分（DCFI），主要用于控制消除荷电；
7.4 控制：手动/自动控制亮度/对比度；
7.5 扫描方式：正常扫描、缩小光栅、定点、线扫描、扫描旋转、倾斜校正；
7.6 显示方式和探测器通道数量：单幅或≥4 幅图像实时显示，标准≥4 通道，任意两个探测器的输入可混合。" |
